Измерение объёмного и массового расхода сред
Электронные расходомеры преобразуют движение жидкости или газа в электрический сигнал для учёта и управления потоком. Термальные датчики измеряют скорость потока по теплоотдаче от нагретого элемента — чем быстрее поток, тем больше охлаждение. Ультразвуковые расходомеры определяют скорость по разнице времени прохождения акустического импульса по потоку и против него. Микромеханические (MEMS) датчики используют отклонение мембраны под давлением потока.
Области применения: медицинские приборы для дозирования лекарств и дыхательные аппараты, системы охлаждения электроники с контролем потока жидкости, газовые счётчики, пневматические системы, автомобильные датчики массового расхода воздуха. Параметры выбора: диапазон расходов, точность, потери давления, совместимость со средой, быстродействие. Миниатюрные MEMS-расходомеры измеряют потоки от единиц миллилитров в минуту для лабораторного оборудования.